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芯片材料国产化重大突破!高纯石英首次打入DRAM大厂:用于300mm晶圆

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发货地:中国 · 销量:90239次阅读

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商品详情

快科技9月11日消息,据报道,江苏太平洋石英股份有限公司的炉管系列产品,已通过国内一家头部DRAM制造商的认证,可用于300毫米晶圆生产。太平洋石英此次认证的意义在于,这是国产高纯石英首次进入晶圆制造的核心工艺环节。此前,其产品已向泛林集团、东京电子等国际半导体设备巨头批量供应,包括LPCVD扩散管、晶舟、石英锭等,纯度达4N5至5N级。此次通过DRAM厂商认证,标志着从石英砂提纯、炉管加工到供应晶圆厂的完整链条已基本实现国产化。太平洋石英自2009年起与南京大学团队合作,历经6年攻关,将超纯石英砂纯度做到99.999%,填补了国内空白。然而,报道同时指出一个关键差距。太平洋石英的产品用于硅片